-หนึ่ง/สองประตู
กรอบและห้องทำจากเหล็กกล้าไร้สนิมคาร์บอน
ประตูแต่ละบานมีหน้าต่างการตรวจสอบสำหรับการควบคุมกระบวนการด้วยสายตาผนังประตูบุด้วยสเตนเลสสตีลซึ่งสามารถถอดออกเพื่อบำรุงรักษาได้ง่าย
- ห้องสุญญากาศแบบกำหนดเอง
ห้องมีซับสแตนเลสด้านในถอดทำความสะอาดได้ง่าย
ปั๊มยืนอยู่ที่ส่วนหลัง
ห้องมีชุดหน้าแปลนขนาดเล็กสำหรับการวัด
- ระบบสูบน้ำสุญญากาศสูง
ปั๊มกระจาย + บูสเตอร์ปั๊ม + ปั๊มเชิงกล
-การวัดและควบคุมสุญญากาศ
พร้อมเกจโลหะ Pirani + เกจวัดไอออนไนซ์โลหะ
- ติดตั้งระบบเคลื่อนย้าย
- ชุดควบคุม PLC
- ระบบระเหยอลูมิเนียมพร้อมหม้อแปลงกำลังสูง
-โครงเหล็ก
โครงสร้างมีความสมเหตุสมผล
ชั้นฟิล์มมีความสม่ำเสมอ
คุณภาพการขึ้นรูปฟิล์ม
ความเร็วในการสูบน้ำสูง รอบการทำงานสั้น และประสิทธิภาพการผลิตสูง
การดำเนินการสะดวก
ใช้พลังงานต่ำและมีเสถียรภาพ
หมายเลขรุ่น | EV-1000 | EV-1200 | EV-1400 | EV-1800 | EV-2000 | มีแบบสองประตูหรือสองห้องให้เลือก | |
ขนาดของห้องสุญญากาศ (เส้นผ่านศูนย์กลาง * สูง) | 1,000*1100 | 1200*1400 | 1400*1600 | 1800*2000 | 2000*2200 | ||
วัสดุของห้องสุญญากาศ | เหล็กกล้าคาร์บอน SUS304 หรือ SUS316L | ||||||
เทคโนโลยีในการทำงาน | การระเหยของความต้านทานสูญญากาศด้วยเส้นใยทังสเตนและอลูมิเนียม, หม้อแปลงระเหยกำลังสูง | ||||||
ระบบสูบน้ำ | ปั๊มกระจาย + ปั๊มเชิงกล, บูสเตอร์ปั๊ม | ||||||
เวลาสูบน้ำ | จากบรรยากาศถึง 5.0*10-2Pa น้อยกว่า 8 นาที | ||||||
ขีด จำกัด ของสุญญากาศ | 5.0*10-4 ป่า | ||||||
อุณหภูมิในการทำงาน | อุณหภูมิห้อง | ||||||
โหมดการทำงาน | โหมดอัตโนมัติหรือแมนนวลโดยหน้าจอสัมผัส PLC ขนาด 10.4 นิ้ว | ||||||
พลังงานทั้งหมด | 40-80kW | 70-140kW | |||||
รอยเท้า | 2*2เมตร | 2*3เมตร | 3*3เมตร | 3*3เมตร | 3*4เมตร | 4*5เมตร | 5*6เมตร |
หน่วยเหล่านี้คุณสามารถกำหนดเองได้ | 1. ขนาดของห้องสุญญากาศ 2. การกำหนดค่าของเครื่องสูบน้ำ | ||||||
เครื่องมือทางเลือก | 1. เครื่องตรวจจับการรั่วไหล 3. ระบบการสะสมอาร์คไอออน 4. ระบบสปัตเตอริง Magntron |