ระบบอินไลน์สปัตเตอริง
-
ระบบอินไลน์แมกนีตรอนสปัตเตอร์
ระบบ Inline Magnetron Sputtering เป็นอุปกรณ์เคลือบฟิล์มบางแบบสุญญากาศที่ทำงานเพื่อวัตถุประสงค์ที่แตกต่างกันการใช้งานทั่วไปของสายการสปัตเตอร์ของเรา ได้แก่ :
ผลิตกระจกอลูมิเนียม
- เคลือบแก้ว ITO
- กระจกกันแสงสะท้อน
- สารเคลือบตกแต่งสำหรับสแตนเลสและกระจก
ระบบเคลือบนี้เหมาะสำหรับงานเคลือบสุญญากาศระดับสูงให้ประสิทธิภาพการทำงานที่มั่นคงเพื่อปรับปรุงคุณภาพของฟิล์มเคลือบสูญญากาศ
-
สายเคลือบแก้ว Magnetron สปัตเตอร์ของ ITO
สายการเคลือบแมกนีตรอนสปัตเตอริงแก้ว ITO ใช้เทคโนโลยีแมกนีตรอนสปัตเตอร์สุญญากาศและเทคโนโลยีแมกนีตรอนสปัตเตอร์ที่ไม่สมดุลเพื่อเคลือบกระจกโฟลตคุณภาพสูงด้วยชั้น SO2/ITOขึ้นอยู่กับระบบควบคุมขั้นสูงระหว่างประเทศกระบวนการผลิตทั้งหมดทำงานโดยอัตโนมัติและต่อเนื่อง
-
สายสปัตเตอริงแมกนีตรอนกระจกอลูมิเนียม
สายการสปัตเตอริงแมกนีตรอนแบบอินไลน์ของกระจกอลูมิเนียมได้รับการออกแบบมาสำหรับวัตถุประสงค์ในการผลิตกระจกที่ให้ผลผลิตสูงในการเคลือบแก้วที่ใหญ่ขึ้นและดูแลแผงกระจกที่เปราะบาง โดยเฉพาะแผ่นขนาดใหญ่ เรามักจะทำเส้นสปัตเตอริงแนวนอนเป็นสายการเคลือบแมกนีตรอนแบบต่อเนื่อง โดยมีห้องปั๊มหยาบด้านหน้าและด้านหลัง และหลังห้องทรานซิชัน ก่อนและหลังห้องปั๊มละเอียด ห้องบัฟเฟอร์ ห้องชุบสี
เป้าหมายการออกแบบ: แคโทดแมกนีตรอนสปัตเตอร์ทรงกระบอกหรือ/และแคโทดระนาบ
แหล่งพลังงาน: แหล่งจ่ายไฟที่มีแมกนีตรอนสปัตเตอริง DC หรือ MF กำลังสูง
ระบบขับเคลื่อน: ไดรฟ์ลูกกลิ้ง, ปรับความถี่ได้, ระบบเปิดประตูห้องแบบเหนี่ยวนำ
ระบบสุญญากาศ: ปั๊มแพร่ (หรือปั๊มโมเลกุลเทอร์โบ) + ปั๊มราก + ปั๊มเชิงกล
