สายสปัตเตอริงแมกนีตรอนแบบอินไลน์กระจกอะลูมิเนียม
คุณสมบัติหลัก
- กระจกอะลูมิเนียม Inline Magnetron Sputtering Line มักมาพร้อมกับห้องสุญญากาศหลายห้องเพื่อให้การเคลือบสุญญากาศบนแผ่นกระจกเสร็จสมบูรณ์
- คุณสมบัติหลัก:
- 1.Max.glass ขนาดเคลือบ: 2440x3660mm หรือกำหนดเอง
- 2. มีห้องสุญญากาศหลายห้องและการออกแบบห้องหลายห้องสปัตเตอริง
- 3. สายควบคุมแม่เหล็กแนวนอนมีโครงสร้างปลายด้านเดียวและสองด้านการทำความสะอาดแก้วสองครั้ง การเคลือบ การตรวจจับ การทาสี การทำให้แห้ง การทำให้เย็นสามารถทำได้ทั้งหมดในคราวเดียว
- 4. สายการเคลือบสปัตเตอริงใช้ PLC สำหรับการควบคุมกระบวนการทั้งหมด และติดตั้งหน้าจอสีเพื่อแสดงข้อมูลกระบวนการเคลือบ
ชั้นเคลือบ: ไททาเนียม โครเมี่ยม สแตนเลส อลูมิเนียม เงิน ทองแดง ฯลฯ
- สารประกอบ: TiN, TiO2 เป็นต้น
- ความหนาของชั้น: 5-100nm
- การส่งผ่าน: 8-40% ที่ความยาวคลื่น 380-780 นาโนเมตร
- อุณหภูมิการสะสม: อุณหภูมิห้อง
- แรงกดสูงสุดหลังจากปั๊มดาวน์ 8 ชม.:
- ห้องล็อคทางเข้าและห้องล็อคสูญญากาศ: 5 × 10-1 Pa หรือต่ำกว่า
- Buffer Chamber 1 : 3×10-3 Pa หรือต่ำกว่า
- ห้องสปัตเตอริง: 2×10-3 Pa หรือต่ำกว่า
- Buffer Chamber 2 : 3×10-3 Pa หรือต่ำกว่า
- ห้องล็อคทางออก & ห้องล็อคสูญญากาศ: 5 × 10-1 Pa หรือต่ำกว่า
เขียนข้อความของคุณที่นี่และส่งถึงเรา
