เครื่องเคลือบแมกนีตรอนฟิล์มบางแบบสุญญากาศ

คำอธิบายสั้น:

เทคนิคการสปัตเตอริงแมกนีตรอนสุญญากาศคือการใช้พื้นผิวอิเล็กโทรดสองขั้วที่มีสนามแม่เหล็กของอิเล็กตรอนในการดริฟท์พื้นผิวแคโทด โดยการตั้งค่าสนามไฟฟ้าพื้นผิวเป้าหมายในแนวตั้งฉากกับสนามแม่เหล็ก อิเล็กตรอนเพิ่มจังหวะ เพิ่มอัตราการเกิดไอออน ของก๊าซ ในขณะที่อนุภาคพลังงานสูงเกิดก๊าซและสูญเสียพลังงานหลังจากการชน และอุณหภูมิของพื้นผิวที่ต่ำกว่าจึงเคลือบบนวัสดุที่ไม่ทนต่ออุณหภูมิได้อย่างสมบูรณ์